초록 ▼

□ 연구목표
○ 핵심 연구지원시설의 구축과 본 시설을 활용한 MEMS·센서의 공동연구 활성화
■ 센터 1,492㎡ 조성 및 장비 75점 집적화(3차년도 기준)
■ 장비 총 활용시간 78,075 시간(3년누적) 달성
■ 총 고장시간 23,688시간 미만(3년누적) 유지
■ 담당자 교육훈련 총 330시간 이상(3년누적) 이수
■ 외부공동활용 서비스율(공동활용서비스수/전체장비수) 50%
■ 장비운영관리자 평균 연구경력 10년 이상 유지
■ 전담운영인력(장비운영관리자) 정규직 비율 90% 이상 유

□ 연구목표
○ 핵심 연구지원시설의 구축과 본 시설을 활용한 MEMS·센서의 공동연구 활성화
■ 센터 1,492㎡ 조성 및 장비 75점 집적화(3차년도 기준)
■ 장비 총 활용시간 78,075 시간(3년누적) 달성
■ 총 고장시간 23,688시간 미만(3년누적) 유지
■ 담당자 교육훈련 총 330시간 이상(3년누적) 이수
■ 외부공동활용 서비스율(공동활용서비스수/전체장비수) 50%
■ 장비운영관리자 평균 연구경력 10년 이상 유지
■ 전담운영인력(장비운영관리자) 정규직 비율 90% 이상 유지
■ 수익금액 6.7억이상(3년누적)
■ 공동 연구 과제 6건 (3차년도 기준) 진행
■ 시설을 활용한 내부 연구자들의 SCI 논문 장비 활용 목표 44건(3년누적), 사사 목표9편(3년누적)
■ 장비 이용자 교육생 년간 15명 배출
■ 공동활용 외부 기관수 140개(3년누적)
■ 공동활용 건수 16,000건(3년누적)

□ 연구개발내용
〇 MEMS·센서 개발 플랫폼 제공 및 플랫폼 자생력 확보
본 핵심 연구지원 시설은 연구지원 시설 확대 구축, 우수한 참여연구원 확충, 전담 연구원의 연구 지원 능력향상, 시설 보수 시스템 유지관리 등 내부 역량강화를 진행하고, 또한 본 플랫폼은 신규 이용자 발굴을 통해 국내 센서기업체와 연구소, 학교 등이 참여할 수 있는 MEMS·센서 개발 플랫폼 구축을 목적으로 함. 본 플랫폼은 국내의 산학연 연구개발을 통해 MEMS·센서에 대한 제작, 특성 평가, 미세구조 분석 등을 원활하게 하고, 향후 플랫폼이 자생력을 갖고 유지될 수 있도록 지속 가능한 수익 창출 기반을 만들 예정
〇 MEMS·센서 기업과의 공동 연구 수행
공동 플랫폼을 사용한 이용자들 간의 교류를 활성화하여 본 센터와 이용자들 간의 MEMS·센서 공동 연구를 확대하고, 본 센터에서 석박사급 연구원들에 대한 MEMS·센서 분야의 기초지식 및 기술의 습득 기회를 부여하여 미래 해당분야 고급 전문 인력을 육성할 계획

□ 연구개발 예상성과
〇 공동활용 성과
• 장비활용건수/시간 : 3,802건, 13,409시간(12월 31일 기준)
• 장비 수익 금액 : 286,036천원
• 전담인력의 정규직(무기계약)비율 100%, 평균연구 경력 11년
• 전담인력 총 142시간의 교육 훈련 및 15명의 반도체 공정 교육생 배출
• 외부 공동 활용 서비스율 47.8%
• 장비의 총 고장시간 4,510시간
〇 본 장비를 활용한 예상 공정 개발 실적
• 블라인드 via의 φ20um, depth 100um(2021 년)，200um(2022년) 공정 개발
• Through hole via의 φ20um, depth 100um(2021년)，200um(2022년) 공정 개발
〇 본 장비를 활용한 공동연구 및 공동 과제 수주 성과
• MEMS·센서를 개발하고 있는 교내외 연구진과 공동 연구 8건 진행
• 신규 공동 연구 과제 3건 10억의 신규 과제 수주 및 수행
• 본 센터 시설을 활용한 SCI급 논문 사사 8건, 장비 사용 4건

□ 활용 계획 및 기대효과 (응용분야 및 활용범위 포함)
〇 향후 핵심 연구지원시설은 단기적으로 연구지원 시설 확대 구축, 참여교수/전담연구원의 확층, 전담 연구원익 분석 능력 향상, 시설 보수 시스템 유지 관리, 신규 이용자 발굴, MEMS 센서 기업과 공동 연구 수행 등을 통해 국내 센서기업체와 연구소, 학교 등이 참여할 있는 MEMS 센서 개발 플랫폼을 제공
〇 또한 공동 플랫폼을 사용한 이용자들 간의 교류를 활성학하여 이용자들 간의 MEMS 센서 공동 연구를 확대하고, 센서 소재, MEMS공정, 미세구조 분석 및 센서의 전자기적 특성을 공동활용할 수 있는 하드웨어와 소프트웨어를 경비한 센서관련 플랫폼을 구축하여 산학연 연구개발의 허브역할 기대

(출처 : 국문 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 국문 요약문 ... 2
• 목차 ... 4
• Ⅰ. 연구과제의 개요 ... 5
• 1. 과제 개요 ... 5
• 2. 연구목표 ... 5
• Ⅱ. 연구내용 및 성과 ... 8
• 1. 연구시설·장비비 통합관리제 지정 및 ZEUS 등록 여부 ... 8
• 2. 장비 설치 및 가동 확인 ... 8
• 3. 現 설치 또는 가동중인 장비 사진 ... 9
• Ⅲ. 연구인력 및 연구비 집행실적 ... 10
• 1. 연구인력 현황 ... 10
• 2. 연구비 집행 및 부담 실적 ... 11
• 첨부2. 연구장비 구축사양 확인 증빙자료 ... 12
• 끝페이지 ... 14