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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
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연구책임자 | 오광룡 |
참여연구자 | 김성복 , 박정민 |
보고서유형 | 2단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO202200002469 |
과제고유번호 | 1711060465 |
사업명 | STEAM연구 |
DB 구축일자 | 2022-06-11 |
키워드 | 마이크로 디스크 레이저.극고품위값.반도체 레이저.가스센서.다채널.선택성.DMMP.실시간 무표지.초고감도.Micro disk laser.Ultrahigh Q.Semiconductor laser.Gas sensor.Multi channel.Selectivity.DMMP.Realtime label free.Ultrahigh sensitivity. |
Ⅳ. 연구개발 결과
□ λ/20 이하의 거칠기의 MDL 구조 및 제작 공정 최적화 확보
□ 108 이상의 고품위 MDL 제작 및 특성 측정 검증
□ 5개 이상의 다채널 MDL 센서 제작 및 특성 검증
□ Sensing well이 결합된 다채널 MDL 센서 제안, 설계, 제작 및 특성 평가
(출처 : 요약문 4p)
Ⅳ. Phase 1 R&D Results
□ Optimization of MDL manufacturing process of roughness less than λ/ 20
□ Development of High quality MDL larger than 108
□ Fabrication and characterization of more than 5 multi-channel MDL sensors
□ Proposal, design, fabrication and characterization of
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