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NTIS 바로가기주관연구기관 | 명성씨엠아이 |
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연구책임자 | 김현호 |
참여연구자 | 최규홍 , 이원영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-02 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 환경부 Ministry of Environment |
과제관리전문기관 | 한국환경산업기술원 Korea Environmental Industry & Technology Institute |
등록번호 | TRKO202200004743 |
과제고유번호 | 1485016719 |
사업명 | 글로벌탑환경기술개발사업(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-23 |
키워드 | 반도체 공정.배기가스.촉매.스크러버.열 회수.Semiconductor Process.Effluent gas.Catalyst.Scrubber.Heat-Recovery. |
반도체 공정에서 발생하는 PFCs(CF4, SF6, NF3) 가스를 저감하기 위한 통합처리 시스템 개발로 각 협력 기관에서 개발한 시작품을 적용한 30 CMM급 PFCs 촉매 통합처리 시스템을 구축함.
- RCO(3bed) type의 촉매 반응 시스템 개발(30CMM급)
: PFCs 분해율(CF4, SF6, NF3) 95% 이상 달성
- MILD연소버너를 통한 온도 연소 안정화 및 질소산화물 낮은 생
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