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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 배병수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-07 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
연구관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202200005424 |
과제고유번호 | 1711115728 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-23 |
키워드 | 하이브리머재료.투명 유리섬유강화 필름.내열성.열팽창계수.저온 폴리실리콘.플렉시블 디스플레이. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
현재 유연 디스플레이 기판 필름에 적용 가능한 요건을 갖춘 기판 필름 제작 목표. 450℃ LTPS 공정을 위한 고내열성, 저열팽창률 및 고투명성, 고강도의 유리섬유 강화 실록산 하이브리드 기판 필름 제작.
□ 개발내용 및 결과
플렉시블 디스플레이 기판으로써 요구되는 1% 열분해 온도 450℃를 충족하였으며 5% 열분해 온도 486℃를 달성하였다. 고온 공정에 핵심적인 필름 열팽창계수를 7.4ppm/℃로 기존 재료 대비 대폭 낮추었으며, 0.9의 저헤이즈, 0.13nm의
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