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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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연구책임자 | 정재경 |
참여연구자 | 박진성 , 김현석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-07 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202200005428 |
과제고유번호 | 1711115732 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-23 |
키워드 | 이동도.저온.반도체 소재.공정.박막 트랜지스터. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
○ 고성능 산화물/질산화물 반도체 재료 탐색 및 공정 기술 개발
- 반도체 박막의 Scattering center 감소를 통한 이동도 향상
- 질산화물 반도체 소재 탐색 및 공정 기술 개발
○ 산화물/질산화물 TFT의 고성능화 및 고신뢰화를 위한 핵심 공정기술 개발
- 전계효과 이동도 > 100 cm2/Vs · Subthreshold Slope < 0.3 V/decade
- 전류 점멸비 > 1×108 · 공정 온도 < 180
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