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Kafe 바로가기주관연구기관 | 마인즈아이 |
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연구책임자 | 홍지중 |
참여연구자 | 김장선 , 김학성 , 오승재 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-03 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200005484 |
과제고유번호 | 1415164105 |
사업명 | 나노융합산업핵심기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-23 |
키워드 | 광학계.자동화설비.반도체.THz.TDS.QCL.Spectroscopy. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
ㅇ THz 이미징을 이용한 인라인 반도체 칩/패키지 검사 장비 개발
□ 개발내용 및 결과
ㅇ THz-TDS 반도체 칩/패키지 검사 장비 개발 : 10x10mm 반도체 칩 2초
이내 검사, 검출 한계 500㎛, 박리/공극
ㅇ THz 소스 발생기 제어 기술 개발 : Tera-OSCAT/Tera-ASOPS THz 발생기와의 연동 기술 개발(TCP/IP통신, 디지타이저)
ㅇ THz 광학계 개선 및 최적화 : F-Theta렌즈 설계 및 제작, 성능 평가, 최적화
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
ㅇ THz 이미징을 이용한 인라인 반도체 칩/패키지 검사 장비 개발
□ 개발내용 및 결과
ㅇ THz-TDS 반도체 칩/패키지 검사 장비 개발 : 10x10mm 반도체 칩 2초
이내 검사, 검출 한계 500㎛, 박리/공극
ㅇ THz 소스 발생기 제어 기술 개발 : Tera-OSCAT/Tera-ASOPS THz 발생기와의 연동 기술 개발(TCP/IP통신, 디지타이저)
ㅇ THz 광학계 개선 및 최적화 : F-Theta렌즈 설계 및 제작, 성능 평가, 최적화
(가로/세로 10mm 영역에 대한 빔 Uniformity 확인)
ㅇ 미세 박리 검출을 위한 분석알고리즘 기술 개발
- 미세 박리 신호 검출 및 판별 알고리즘(FMWH) 개발 및 최적화
- 신호 중첩 효과 분리 알고리즘(Deconvolution, Complex refractive index, Deep learning) 개발 및 최적화
ㅇ THz 신호 분석 기법 개발
- Tomography(3D분석), Scan Frame(A/C/B/B'-Scan), 영상 처리 알고리즘
(Blob, Pattern matching) 개발 및 최적화
ㅇ 불량 반도체 칩 검사 및 평가 방법 기술 개발
- 초음파 검사 결과 비교를 통한 THz 검사 기술 정확도/검사시간 측정
ㅇ THz-QCL(Quantum Cacade Lasers) 반도체 칩/패키지 검사 장비 개발 : 10x10mm 반도체 칩 1초 이내 검사, 검출 한계 100㎛, 균열
ㅇ QCL 소스 발생기 제어 기술 개발 : Longwave photonics
ㅇ 광학계 최적화 기술 개발 : 노이즈 제거, 평행광 유지 및 집속 렌즈 최적화
ㅇ 균열 검출을 위한 영상 처리 알고리즘 기술 개발 : Blob 최적화
□ 기술개발 배경
ㅇ 국내 반도체 산업의 성장에 따른 반도체 검사·계측 기술 요구 수요 발생
ㅇ 웨이퍼의 시각적, 비시각적 결함 검사를 위한 핵심 원천기술 개발 요구 필요성 대두
ㅇ 반도체 다중 칩 패키지 제조 공정에서 생기는 박리, 공극, 균열의 효과적 검사 기술에 대한 업체 수요 급증
→ 기존 검사 기술(X-Ray, 초음파)의 한계(안전성, 매질필요등)를 극복하여 샘플링 검사가 아닌 전수 검사 요구 필요성 대두
□ 핵심개발 기술의 의의
ㅇ 기존 검사 기술 문제점과 한계 극복에 의한 비파괴검사 분야의 반도체 인라인 자동검사 수요 충족
ㅇ 헬스케어/국방/미술등 다른 분야에서 다양한 THz 검사 기술 응용에 따른 파생 수요 창출
□ 적용 분야
ㅇ 유무선 통신 서비스 분야
ㅇ 보건·의료·생명 서비스 분야
ㅇ 국방·보안·안전·재난 서비스 분야
ㅇ 환경·식품 서비스 분야
ㅇ 기초과학 분야
ㅇ 예술·고고학 분야
(출처 : 초록 - 3. 개발결과 요약 4p)
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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