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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국세라믹기술원 |
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연구책임자 | 이선홍 |
참여연구자 | 이태규 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202200005609 |
과제고유번호 | 1415167412 |
사업명 | 국가표준기술개발및보급(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-30 |
키워드 | 전력반도체.탄화규소.질화갈륨.결정성.웨이퍼.고분해능 X선 회절. |
1. (최종년도, 해당년도) 목표
• 최종년도 : 고분해능 X선 회절법을 이용하여 전력반도체용 탄화규소 및 질화갈륨 단결정 박막에 대한 결정성 시험방법을 ISO/TC206 WG7 FDIS 등록, 국가표준 제정, 국제회의 참가, 세미나 및 교육훈련
• 당해연도 : 고분해능 X선 회절법을 이용하여 전력반도체용 단결정 박막에 대한 결정성 시험 방법 FDIS등록(1 건), 국제회의 참가, PL 및 컨비너 역할 수행, 세미나 개최 및 교육훈련 개최
2. 해당 사업 목적 및 중요성
• 탄화규소나 질화갈륨에 대한 결
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