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고분해능 X선회절법을 이용한 전력반도체용 단결정 박막 품질 평가 국제표준화 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국세라믹기술원
연구책임자 이선홍
참여연구자 이태규
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2020-06
과제시작연도 2020
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO202200005609
과제고유번호 1415167412
사업명 국가표준기술개발및보급(R&D)
DB 구축일자 2022-07-30
키워드 전력반도체.탄화규소.질화갈륨.결정성.웨이퍼.고분해능 X선 회절.

초록 ▼

1. (최종년도, 해당년도) 목표
• 최종년도 : 고분해능 X선 회절법을 이용하여 전력반도체용 탄화규소 및 질화갈륨 단결정 박막에 대한 결정성 시험방법을 ISO/TC206 WG7 FDIS 등록, 국가표준 제정, 국제회의 참가, 세미나 및 교육훈련
• 당해연도 : 고분해능 X선 회절법을 이용하여 전력반도체용 단결정 박막에 대한 결정성 시험 방법 FDIS등록(1 건), 국제회의 참가, PL 및 컨비너 역할 수행, 세미나 개최 및 교육훈련 개최

2. 해당 사업 목적 및 중요성
• 탄화규소나 질화갈륨에 대한 결

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 서 ... 2
  • 제 출 문 ... 3
  • 요 약 서 (초 록) ... 4
  • 목차 ... 5
  • 제1장 서론 ... 6
  • 제1절 사업개요 ... 6
  • 제2절 사업추진 현황 ... 21
  • 제2장 사업 추진실적 ... 24
  • 제1절 과제추진실적 ... 24
  • 제2절 평행빔 X선 회절법을 이용한 단결정 박막의 결정성 분석 방법 ... 27
  • 제3절 시험소간 공동분석 (Round Robin Test) ... 41
  • 제4절 국제 및 국가표준 진행현황 ... 51
  • 제5절 표준화 활동 및 기술 이전확산 ... 58
  • 제3장 기술개발결과 ... 60
  • 제1절 국제표준화 활동 ... 60
  • 제2절 분석방법 기술 이전확산 및 홍보활동 ... 60
  • 제3절 기술적 파급효과 ... 60
  • 부록 ... 61
  • 부록1. ISO/PRF 22278 Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam ... 62
  • 부록2. 국내 단결정 소재 기업에 대한 HR-XRD 시험분석 성적서 발부 증빙 (2017~2020) ... 101
  • 끝페이지 ... 124

표/그림 (44)

참고문헌 (25)

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