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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국광기술원 Korea Photonics Technology Institute |
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연구책임자 | 인정환 |
참여연구자 | 권민철 , 장홍영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-10 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006159 |
DB 구축일자 | 2022-08-06 |
키워드 | 내부 유도 결합 플라즈마 소스.광학박막 증착.유도 결합 플라즈마 안테나.플라즈마 균일도.스퍼터 시스템. |
3. 개발결과 요약
최종목표
광학박막 증착용 스퍼터 시스템을 위한 플라즈마 발생 효율이 높고 균일한 플라즈마 발생이 가능한 유도 결합 플라즈마 소스를 개발하는 것이 목표임
개발내용 및 결과
- 광학박막 증착용 스퍼터 Pilot 장비에 적용하기 위한 유도 결합 플라즈마 소스 디자인 및 제작
- 양 쪽 끝 부분의 플라즈마 발생을 강화하여 더 균일한 플라즈마 발생이 가능한 안테나 디자인, 전자기장 시뮬레이션을 통한 전자기장 분포와 임피던스 확인 및 세부 디자인 수정
- 플라즈마 발생효율 향상
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