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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)아이씨디 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-01 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201400015128 |
과제고유번호 | 1425070480 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | 능동형 유기발광.유도결합플라즈마.건식식각 장비.플라즈마.정전 척. |
개발목표
계 획
1. 능동형 유기 발광 다이오드 디스플레이 제조 공정에 필요한 유도 결합형 플라즈마 소스를 가지는 건식 식각 장비로서 8세대 대 면적의 글라스 기판을 처리할 수 있는 고밀도 플라즈마 장비 개발
2. 능동형 유기 발광 다이오드 디스플레이용 산화 실리콘 막의 에치 공정 성능 확보가 가능한 8세대 진공 반응기 개발
실 적
1. 8세대 대면적 대응유도 결합형 플라즈마 소스 디자인 및 시뮬레이션 완료
2. 진공 반응기 강성 시뮬레이션 및 챔버 설계 완료
3. 산화 실리콘 막의 에치 공정
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