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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)센텍코리아 |
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연구책임자 | 유도준 |
참여연구자 | 이종흔 , 변형기 , 김성회 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-08 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006219 |
과제고유번호 | 1415163818 |
사업명 | 소재부품기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-19 |
키워드 | 고속응답.고선택성.에탄올센서.산화물 반도체.음주측정기. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
운전자 음주여부를 3초 이내로 감지하기 위한 반도체식 가스센서 어레이 및 복합센서모듈 개발
□ 개발내용 및 결과
▣ 복합센서 모듈 양산공정 개발
● MEMS 플랫폼 기반 반도체식 양산 공정개발
- 가속 테스트를 통한 센서 내구성 확보
- One-chip 공정개발을 통한 소형화
- 세라믹 패키지를 통한 양산패키징 공정개발
● 10년 수명의 장기안정성 가지는 센서 개발
- 내구성 향상을 위한 보호막, 필터 개발
● NDIR 이산화탄소 센서
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