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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 염근영 |
참여연구자 | 정연식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-07 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006240 |
과제고유번호 | 1711092904 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-13 |
키워드 | 블록공중합체.플라즈마.리소그래피.종횡비.식각선택도. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
- 플로리-허긴스 상호인자 (χ) 값 조절을 통한 DSA 소재 설계 및 물질 개발
- 공정시간 단축 및 패턴품질 정량화, 미세패턴의 패턴 전사 공정 개발
- 플라즈마 처리를 통한 고분자의 물리적 경도 향상에 대한 매카니즘 확인 및 개선
- 식각기술을 활용한 패턴품질 개선 및 식각 선택도 향상
□ 개발내용 및 결과
○ DSA 소재 개발
- 높은 χ 값을 가지는 블록공중합체를 한 쪽 블록에 플루오린이 포함된 단량체를 공중합시켜 패턴 크기를 감소시키고 이를
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