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Kafe 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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연구책임자 | 안진호 |
참여연구자 | 김재순 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-07 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
연구관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202200006269 |
과제고유번호 | 1711093550 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-19 |
키워드 | 극자외선.펠리클 검사.렌즈레스 이미징.마스크.오염. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
● 보정 기능을 갖춘 13.5nm 파장의 EUV 광원 개발
● EUV scanning lensless imaging(ESLI) 시스템의 광학계 제작
● 회절패턴의 stitching 가능한 정밀 진공 스테이지 제작
● 이미지 처리용 ptychography 알고리즘 개발
● 365nm 파장의 광원 개발
● UV line scanning 시스템 광학계 제작
● UV/EUV 연계 펠리클 검사 기술 개발
□ 개발내용 및 결과
본 과제를 통해 개발하고
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
● 보정 기능을 갖춘 13.5nm 파장의 EUV 광원 개발
● EUV scanning lensless imaging(ESLI) 시스템의 광학계 제작
● 회절패턴의 stitching 가능한 정밀 진공 스테이지 제작
● 이미지 처리용 ptychography 알고리즘 개발
● 365nm 파장의 광원 개발
● UV line scanning 시스템 광학계 제작
● UV/EUV 연계 펠리클 검사 기술 개발
□ 개발내용 및 결과
본 과제를 통해 개발하고자하는 기술인 EUV scanning lensless imaging (ESLI) 기술은 13.5nm 파장의 EUV 광원을 이용하는 actinic 검사 기술로써 다수의 회절패턴을 이용해 수학적 계산을 통한 본래의 이미지를 재구성하는 ptychogrphy 기술을 기반으로 넓은 영역을 이미징하여 EUV 마스크 및 펠리클을 검사하는 기술이다. Stand-alone 타입의 장시간 안정성이 확보된 EUV 광원을 이용하며 고진공 환경에서의 정밀 스테이지와 광학 시스템 등의 하드웨어를 구성하여 획득한 EUV 마스크와 펠리클의 정보를 이미지 재구성 알고리즘을 통해 오염물을 검출해내어 성공적인 검사 기술을 구현하였다.
□ 기술개발 배경
노광 공정 중 오염물이 발생하여 EUV 펠리클 표면에 위치할 경우 최종 웨이퍼 패턴에는 영향을 미치지 않지만, 임계 크기 이상의 큰 오염물은 펠리클 표면에 위치하더라도 웨이퍼 패턴에 영향을 미치게 된다. 그러므로 펠리클이 양산 공정에 적용되기 전, 반드시 actinic 검사를 통해 EUV 펠리클의 qualification이 선행되어야한다. Actinic 검사 기술의 필요성은 나날이 강조되고 있지만 높은 기술 개발 난이도와 경제적, 공간적 제약에 의해 국내에서 연구가 더뎌지고 있는 상황이다. 따라서 본 과제에서 EUV 펠리클의 성능 평가 및 검사와 펠리클이 장착된 마스크의 노광 특성 검사를 위한 actinic 검사 기술을 개발하고자 한다.
□ 핵심개발 기술의 의의
EUV actinic 검사 기술인 EUV scanning lensless imaging(ESLI) 기술은 ptychography를 기반으로한 국내 최초의 EUV 마스크 및 펠리클 검사 기술로써 큰 의의를 가지며, 펠리클의 오염물 검출 성능은 국외 최고 수준 기술에 가까운 결과라고 할 수 있다.
□ 적용 분야
● EUV 펠리클의 광학적 특성 평가 및 검사
● EUV 마스크 패턴 계측 및 검사
(출처 : 기술개발사업 최종보고서 초록 5p)
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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