최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 광림정공 |
---|---|
연구책임자 | 윤성호 |
참여연구자 | 이호년 , 이희철 , 이정환 , 나일채 , 강봉준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-02 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006767 |
과제고유번호 | 1415161768 |
사업명 | 산업소재핵심기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-27 |
키워드 | 건식표면처리.가스유동 스퍼터링.고표면적.고속 증착.다공성 구조. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
〇 高표면적 다공성 금속박막 제조를 위한 고속 건식 표면처리 장치 및 공정기술 개발
- 스퍼터링 기반 고표면적 건식 박막 제조를 위한 표면처리 모듈 설계 기술
- 유동 시뮬레이션 기술 기반 모듈 구조 최적화 기술
- 생산성 향상을 위한 표면처리 모듈의 대면적화 및 균일도 향상 기술
- 기존 증착 장비에 부착하여 사용 가능한 모듈 설계‧제작 기술
- 촉매전극 또는 가스센서용 등 박막제조 및 특성평가
□ 개발내용 및 결과
〇 고표면
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.