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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에프엔에스테크 |
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연구책임자 | 김팔곤 |
참여연구자 | 백동천 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-10 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007010 |
과제고유번호 | 1415160303 |
사업명 | 생산시스템산업전문기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-27 |
키워드 | 화학적 기계적 연마.우레탄 패드.재활용. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
사용이 완료된 CMP Pad의 성형 및 가공 기술을 개발하여 선진 社 제품과 동등한 수준의 성능과 수명(Removal Rate 2600Å/min 초과, Removal Rate Non-uniformity 10% 미만, 제품간 Removal Rate 변화율 10% 미만, Pad Cut Rate 45㎛ 미만, 경도 범위 52~62D(Shore), 기공률 30% 초과, 두께 변화율 5% 미만, 접착강도 2N/inch 초과, 습식 경도 변화율 20% 미만, 습식 접착 강도 2N/inch 초과)을 나
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