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NTIS 바로가기주관연구기관 | 쎄크 SEC Co., Ltd. |
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연구책임자 | 전승원 |
참여연구자 | 주관식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-07 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007089 |
과제고유번호 | 1415152309 |
사업명 | 우수기술연구센터(ATC) |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 200nm Resolution X-Ray Source.Pulse Beam X-Ray.S Band Linear Accelerator. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
· Focal Spot 50nm급 X-Ray Source 개발.
· Focal Spot 20um에서 Rising Time 3ms, Falling Time 1ms의 Pulse Pattern Generating 기술 개발.
· 전자 빔 Energy; 950kV(2단계에서 9MeV로 목표 상향함)의 가속에너지를 갖는 X-Ray 소스 기술 개발.
□ 개발내용 및 결과
TFE Tip을 탑재하고, 보다 정밀한 전자 빔 광학계를 구성하여 50nm X-Ray Source 개발
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