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NTIS 바로가기주관연구기관 | 에이피시스템(주) |
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연구책임자 | 한재현 |
참여연구자 | 양종헌 , 박상희 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-07 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007197 |
과제고유번호 | 1415152505 |
사업명 | 우수기술연구센터(ATC) |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | UD급.혼합광 소결.대면적.고이동도 산화물 TFT.가변 환경. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
○ UD급 디스플레이용 자외선, 근적외선 혼합광 소결 장비 개발
○ 기판크기 : 6세대 (1500 mm X 1850 mm)
○ 온도 제어 정밀도 : ±3℃
○ 고안정적 자외선 광원 확보
- 램프 용량 : >280W
- 램프 수명 : >1,000시간
○ 자외선 램프 전력 조절 장치 기술개발
- 램프 용량 대비 최소 전력 : < 60%
○ 공정 환경 가변 장치 발 및 제어 기술개발
- N2, O2, N목차 Contents
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