최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 나노시스템(주) |
---|---|
연구책임자 | 김창규 |
참여연구자 | 김병창 , 이우년 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-05 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007214 |
과제고유번호 | 1415152212 |
사업명 | 기계산업핵심기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 자유곡면.비구면.백색광 간섭.형상.표면조도. |
3. 개발결과 요약
최종목표
○ 측정범위
▪ Lens Diameter <φ200mm
▪ Lens Sag <35mm
▪ Lens Slope Angle <60도
○ 측정성능
▪ 형상 측정정확성 <0.3um (기준값-측정값평균 @기준 Sphere)
▪ 형상 측정반복성 <0.3um (측정값의 표준편차 @기준 Sphere)
▪ 표면조도 측정정확성 <0.3nm (시편 기준값-측정값평균 @기준 Step Height)
▪ 표면조도 측정반복성 <0.1nm (측정값의 표준편차 @기준 Ste
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.