최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 이지스코(주) |
---|---|
연구책임자 | 안호갑 |
참여연구자 | 차문길 , 김광선 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-10 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007391 |
과제고유번호 | 1415155911 |
사업명 | 신성장동력장비경쟁력강화 |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 직접냉매 냉각시스템.세라믹 정전척.반도체 식각공정. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
o 냉매직접 냉각방식을 적용한 냉각능력 8 KW급 식각공정용 정전척 및 냉각시스템 개발
① 반도체 식각 공정용 대면적 ø450mm 정전척 개발
② Tunable Temp Control 가능 ø300mm 정전척 개발
③ 냉각능력 8 KW급 냉매 직접냉각 방식 냉각시스템 개발
□ 개발내용 및 결과
(1) 대면적 정전척
정전력 발생 Mechamism을 이용하여 균일하고 높은 정전력의 제품을 개발
(2) 냉매직접 냉각시스템
냉각수를 이용한 간접방식
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.