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NTIS 바로가기주관연구기관 | 코리아스펙트랄프로덕츠(주) |
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연구책임자 | 이창석 |
참여연구자 | 김준오 , 임성규 , 한재원 , 조성환 , 이선형 , 이헌정 , 조기선 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-02 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202200007437 |
과제고유번호 | 1415158412 |
사업명 | 소재부품기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-09-10 |
키워드 | 적외선.오염입자.실시간.정량 측정.광학 시스템.Near Infrared.Contaminant Particle.Real Time.Quantitative Measurement.Optical System. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
반도체 및 디스플레이 제조 공정 상태의 실시간 모니터링이 가능한 공정 가스 및 미세 오염 입자 정량측정 광학 측정 및 진단 시스템 개발 및 사업화
□ 개발내용 및 결과
• 배출공정 가스에 대한 0.2~5.0 μm 파장 대역에서의 분광 흡광도를 실시간 분석하여 배출 가스 종류에 대한 정성 판정 및 배출 가스양에 대한 정량 분석이 가능한 기술 개발 및 상용화 완료
• Mie 산란 원리 및 flat top 광학계 기술을 적용하여 150nm 이상의 미세 오염 입자에 대하여
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