최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 고려오트론(주) |
---|---|
연구책임자 | 김윤구 |
참여연구자 | 이종현 , 이관훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-02 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007476 |
과제고유번호 | 1415157330 |
사업명 | 소재부품기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-09-10 |
키워드 | MEMS Scanner.SS-OCT.FDM.Optical Probe.3D Inspection.IR Scanning. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
6인치급 모바일 디스플레이 패널의 미세결함 검출을 위한 2채널 MEMS 광스캐너 기반의 3차원 검사프로브 개발
1. Mirror diameter : ≥2.0mm (≥2.616mm)
2. Scan speed : ≥300Hz (≥300Hz)
3. Scan angle : ±11deg (≥11.723deg)
4. Scan range : ≥17mm (≥17mm)
5. 드라이버 구동 안정성 : ±3% (<1.9%)
6. A-scan 반복률 : 100KHz (100KHz
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.