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NTIS 바로가기주관연구기관 | 리드 |
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연구책임자 | 정인권 |
참여연구자 | 김형근 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-02 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202200007529 |
과제고유번호 | 1415157043 |
사업명 | 신성장동력장비경쟁력강화(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-09-10 |
키워드 | 원자층.증착.유기발광소자.플라즈마.피막형성/피복. |
3. 개발결과 요약
※ 최종목표
□ OLED 봉지용 박막의 시공간분할 ALD 장비 기술 개발
※ 개발내용 및 결과
□ 기술 개발 내용
- OLED 보호막 선형 진공 플라즈마원과 ALD 증착원 개발
■ 선형 증착이 가능한 진공 플라즈마원 기술
■ 다층 연속 증착이 가능한 선형 플라즈마원 기술
■ 장시간 연속 증착이 가능한 ALD 증착원 기술
- 선형 플라즈마원을 이용한 인라인 ALD 증착 장비 개발
■ 보호막용 금속산화물의 연속증착이 가능한 인라인 장비 기술
■ Mul
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