초록 ▼

Ⅳ. 연구개발 결과 및 활용에 대한 건의
고효율(에너지 이용 및 분해 처리율) 초과 엔탈피연소기를 적용한 POU형 Burn&Wet 스크러버 파일럿 스케일 시제품을 개발하였고 성능평가를 통해 이의 우수한 성능을 확인하였다. CVD 공정모사실험을 통해 목표한 처리용량 200LPM에서 연료 사용량은 16LPM이하였고 이때 처리 대상가스인 NF₃는 99%이상, N₂O는 90%이상 분해되었다. 공정 모사 운전시 배출되는 평균 NOx 및 CO는 43, 15ppm으로 목표를 초과달성하였다. 참여기업을

Ⅳ. 연구개발 결과 및 활용에 대한 건의
고효율(에너지 이용 및 분해 처리율) 초과 엔탈피연소기를 적용한 POU형 Burn&Wet 스크러버 파일럿 스케일 시제품을 개발하였고 성능평가를 통해 이의 우수한 성능을 확인하였다. CVD 공정모사실험을 통해 목표한 처리용량 200LPM에서 연료 사용량은 16LPM이하였고 이때 처리 대상가스인 NF₃는 99%이상, N₂O는 90%이상 분해되었다. 공정 모사 운전시 배출되는 평균 NOx 및 CO는 43, 15ppm으로 목표를 초과달성하였다. 참여기업을 통해 개발품의 상용화 및 현장 장기 운전 실험을 통해 반도체 및 디스플레이 산업에 보급되어 국내 온실가스 및 미세먼지 배출저감에 기여할 것으로 기대된다.

(출처 : 요약문 6p)

Abstract ▼

Ⅳ. Result and Recommendations
Development of the burn and wet POU scrubber system appling the excess enthalpy combustion technology and manufacture the its pilot scrubber system were carried out. The performance of this scrubber system was verified as excellent. Through the CVD process simulation

Ⅳ. Result and Recommendations
Development of the burn and wet POU scrubber system appling the excess enthalpy combustion technology and manufacture the its pilot scrubber system were carried out. The performance of this scrubber system was verified as excellent. Through the CVD process simulation, the goal of the treatment capacity was verified to be 200LPM. at the same time, NF₃ DRE and N₂O DRE was obtained to be 99%, 90%, respectively. Is is also verified the averaged NOx and CO emissions during the CVD process simulation were 43 and 15ppm. It is expected to contribute the reduction of greenhouse gases and fine dust emissions generated from semiconductor and display industry by the commercialization of this developments

(source : Summary 8p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 3
• 요 약 문 ... 5
• SUMMARY ... 7
• CONTENTS ... 9
• 목차 ... 11
• 그림목차 ... 13
• 표목차 ... 14
• 제 1 장 서 론 ... 15
• 제 1 절 기술 개요 ... 15
• 1. 기술개발 개요 ... 15
• 2. 기술개발 대상 ... 17
• 제 2 절 기술개발 필요성 ... 20
• 1. 기존 기술 문제점 및 개발 요구사항 ... 20
• 제 3 절 국내 기술과 시장 현황 ... 22
• 1. 국내 기술의 수준 및 시장동향 ... 22
• 제 2 장 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 24
• 제 1 절 개발목표 ... 24
• 1. 최종 목표 ... 24
• 제 2 절 연소기 구조설계 ... 25
• 1. 초과엔탈피 연소기 방식 선정 ... 25
• 2. Porous Metal Fiber Combustion 특성 ... 26
• 3. PMB 연소기 구조 ... 28
• 제 3 절 PMB 연소기 성능 평가 ... 29
• 1. 연소기 화염온도 및 당량비 변화에 따른 화염형상 ... 29
• 제 4 절 공정 배출 가스 모사 처리실험 ... 31
• 1. 실험장치 구성도 및 실험조건 ... 31
• 2. 스크러버 운전조건에 따른 NOx와 CO 배출 특성 ... 31
• 3. NF₃ 유입 시 분해 처리효율 및 NOx와 CO 배출 특성 ... 32
• 4. 연료량과 당량비 변화에 따른 N₂O 분해 처리효율 특성 ... 33
• 5. CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정 모사실험 ... 34
• 제 5 절 PMB 연소기를 적용한 POU 스크러버 개발을 위한 설계 ... 38
• 1. P&ID 설계 ... 38
• 2. 캐비닛 과 Utility Hookup 설계 ... 39
• 3. Safety Interlock 제어 로직 설계 ... 40
• 제 3 장 결 론 ... 41
• 참고문헌 ... 42
• 끝페이지 ... 43