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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국화학연구원 Korea Research Institute of Chemical Technology |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-10 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201400028942 |
과제고유번호 | 1415120338 |
사업명 | 에너지자원융합원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2014-11-29 |
키워드 | 온실가스.반도체/LCD공정.불화가스.분리막.흡착컬럼.분리농축시스템.전처리기술.촉매식스크러버.PFC.SF6. |
최종목표
가. 저 농도 폐 PFCs 농축기술 개발 및 시스템 구축
○ 저 농도 PFCs 농축기술 개발
: 농축도:24-40, 회수율:80 %이상, 처리용량:10 LPM
○ 10LPM급 농축시스템 구축
: 전산모사를 통한 50LPM 이상급 설계
나. PFCs 처리용 대형 scrubber 개발
○ 열교환기 설비 compact화
: 열회수율 70%, 집적화(8.4㎡>4.2㎡ ; 열교환 용량 59,549kcal/h)
○ Fab. 내부 정압 컨트롤 시스템 개발
: ±10 mmAq(-50~
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