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미래 전자코 (Electronic nose)를 위한 온칩 센서용 광검출기 컨셉 검증
Concept validation of the photodetector for on-chip sensor-based electronic nose 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 김상현
참여연구자 심준섭 , 임진하
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2022-01
과제시작연도 2021
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202200009684
과제고유번호 1711150219
사업명 한국과학기술원연구운영비지원(R&D)(주요사업비)
DB 구축일자 2022-09-24
키워드 전자코.집적광학센서.중적외선.열검출기.볼로미터.Electronic nose.Integrated optical sensor.Mid-IR.Thermal detector.Bolometer.

초록 ▼

Ⅳ. 연구개발결과
광검출부를 구성하는 FCA 효과를 이용한 도파로 기반 열검출기를 새롭게 제안하였으며, 이를 위한 우수한 성능의 물질로써 TiOx/Ti/TiOx tri-layer 박막의 공정 조건을 실험적으로 확립함.
해당 bolometric material을 기반으로한 열검출기의 기초적인 동작을 실험적으로 검증하였고, 이를 통해 ppm 이하의 CO2 검출의 limit-of-detection(LoD) 값을 확보할 수 있음을 도출함.

(출처 : 요약문

Abstract ▼

Ⅳ. Research outcome
Using newly proposed FCA effect-based photodetector, we concieved TiOx/Ti/TiOx tri-layer structure as a promising material candidate and experimentally demonstrated high TCR and stable operation as a function of time. Based on the experiment, we derived t

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • SUMMARY ... 5
  • CONTENTS ... 6
  • 목차 ... 7
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 8
  • 1. 혁신적 전자코 개발의 필요성 ... 8
  • 2. 연구개요 및 내용 ... 8
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 10
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 11
  • 1. 집적광학계 기반 가스 센서 설계 ... 11
  • 2. 광검출기를 위한 물질 제작 및 특성 평가 ... 13
  • 3. 광검출기 동작의 실험적 검증 ... 17
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 19
  • 1. 목표달성도 ... 19
  • 2. 연구의 선도성/독창성 및 관련 분야 기여도 ... 19
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 20
  • 1. 기대효과 ... 20
  • 2. 후속 과제 연계 전략 ... 20
  • 끝페이지 ... 21

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참고문헌 (25)

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