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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 정영규 |
참여연구자 | 권용중 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2023-01 |
과제시작연도 | 2022 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202300004506 |
과제고유번호 | 1711175186 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2023-08-09 |
키워드 | 반도체.가스 센서.습도.가스 감도.희토류계.금속 산화물.semiconductor.gas sensors.humidity.gas response.rare-earth elements.metal oxides. |
□ 연구내용
○ 금속산화물 나노 복합소재를 이용한 습도 비의존성 고감도 반도체식 가스센서 개발
- 금속산화물과 니켈 희토류 등 원소의 나노소재의 복합화를 통한 반도체 센싱소재 표면 초소수성화 개질 기술개발
- 센서의 습도 비의존성과 고감도 감지 두 가지 특성을 동시에 확보 할 수 있는 플랫폼 기술 개발
○ (1차년도) 습도 비의존형 고감도 반도체식 NO2센서 개발
- 센서의 습도 비의존성과 고감도 감지 두 가지 특성을 동시에 확보 할 수 있는 기술 개발
□ 연구개발 성과
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