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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 김상현 |
참여연구자 | 금대명 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-12 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202200009794 |
과제고유번호 | 1711151547 |
사업명 | 한국과학기술원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2022-09-24 |
키워드 | 초분광.모놀리식 집적.적외선 센서.광대역 센서.고효율 센서.hyperspectral.monolithic integration.short-wavelength infrared sensor.broadband sensor.high efficiency sensor. |
○ 단일 광센서 효율 최대화 및 단가절감을 위한 주기구조 제작 및 적용 기술 개발
- 이를 위해서 본 연구에는 본딩 계면 (광 활성층 하부)에 적절한 광학 설계를 통해서 두께가 얇으면서도 높은 수광효율을 보일 수 있는 새로운 구조를 고안하고자 함. 시뮬레이션을 통해 주기적인 구조를 형성하였을 때효율이 최대화 될 수 있는 guided mode를 갖는 구조를 개발함. 이를 위해서 sub-micrometer scale에서 패턴을 형성할 수 있는 기술을 개발하였음. 이후 메탈-유전체 구조의 표면의 CMP를 진행하여 웨이퍼 본딩이
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