초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
본 연구는 신축성 플랫폼으로의 (초)박형 칩 전사 기술’을 최적화하여 ‘소프트 IoT 플랫폼’용 집적 기술을 확보하고, 이를 토대로 수면 무호흡증을 측정할 수 있는 전자패치를 시작품으로 구현하는 것을 목표로 한다.

○ 전체 내용
1. (초)박형 CMOS 센서 칩 제작 기술 개발
○ 웨이퍼 bonding/debonding, 웨이퍼의 물리적 박형화 기술 최적화
○ 기계적 박리를 이용한 맥박 센서 제작 공정 확립 및 유연 PZT 맥박 센서 특성 평가
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□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
본 연구는 신축성 플랫폼으로의 (초)박형 칩 전사 기술’을 최적화하여 ‘소프트 IoT 플랫폼’용 집적 기술을 확보하고, 이를 토대로 수면 무호흡증을 측정할 수 있는 전자패치를 시작품으로 구현하는 것을 목표로 한다.

○ 전체 내용
1. (초)박형 CMOS 센서 칩 제작 기술 개발
○ 웨이퍼 bonding/debonding, 웨이퍼의 물리적 박형화 기술 최적화
○ 기계적 박리를 이용한 맥박 센서 제작 공정 확립 및 유연 PZT 맥박 센서 특성 평가
2. 대면적 롤투롤 칩 전사 및 집적 공정 확립
○ ACF의 최적화를 통한 마이크로 LED 소자 롤 전사 기술 개발
○ 진공의 흡입력을 이용한 박막 마이크로 LED 소자 전사 기술개발
3. 전자패치 시제품 제작(타세부 협력)
○ 신축성 기판용 마스터 몰드 등 수면 무호흡증 패치 시제품 제작 협력

○1단계
□ 목표
본 연구는 ‘유연한 (초)박형 CMOS 센서 칩 제작 기술’ 및 ‘신축성 플랫폼으로의 (초)박형 칩 전사 기술’을 개발한다.

□ 내용
1. (초)박형 CMOS 센서 칩 제작 기술 개발
○ 웨이퍼 bonding/debonding, 웨이퍼의 물리적 박형화 기술 최적화
○ Controlled spalling을 활용한 기계적 박리 기술 개발
2. 기계적 스트레스 아이솔레이션용 나노 구조체를 내장한 신축성 기판으로의 (초)박형 칩 전사 연구
○ 기계적 스트레스 아이솔레이션을 위한 나노 구조체용 실리콘 마스터 몰드 제작
○ 박형 웨이퍼 롤 전사 기술 개발

○ 2단계
□ 목표
본 연구는 신축성 플랫폼으로의 (초)박형 칩 전사 기술’을 최적화하여 ‘소프트 IoT 플랫폼’용 집적 기술을 확보하고, 이를 토대로 수면 무호흡증을 측정할 수 있는 전자패치를 시작품으로 구현하는 것을 목표로 한다.

□ 내용
1. (초)박형 CMOS 센서 칩 제작 기술 개발
○ 기계적 박리를 이용한 맥박 센서 제작 공정 확립 및 유연 PZT맥박 센서 특성 평가
2. 대면적 롤투롤 칩 전사 및 집적 공정 확립
○ ACF의 최적화를 통한 마이크로 LED 소자 롤 전사 기술 개발
○ 진공의 흡입력을 이용한 박막 마이크로 LED 소자 전사 기술개발
3. 전자패치 시제품 제작(타세부 협력)
○ 신축성 기판용 마스터 몰드 등 수면 무호흡증 패치 시제품 제작 협력

□ 연구개발성과
○ 국내특허 출원 5건, PCT 출원 1건, 국내특허 등록 1건
○ 기술이전 1건
○ SCI 논문 6편, SCIE 논문 3편

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
1. 연구개발 결과의 활용 계획
○ 전자패치형 IoT 플랫폼의 국가나노인프라 구축을 통한 산학연 R&BD 지원
○ 기존 플랫폼 기술과 융합하여 새로운 가치의 플랫폼 개발

2. 기대효과
○ 연구 및 교육 측면: 다양한 고성능 CMOS 소자의 웨어러블 연구에 적용
○ 경제 및 산업 측면
- 원천기술 확보를 통한 웨어러블 센서의 대량생산 및 보급화 촉진을 통해 미래 먹거리 시장 선점에 기여
- 소프트 IoT 플랫폼용 핵심 기술이 국가나노인프라에 구축됨에 따라 관련 기업의 시장 진입에 드는 비용과 시간 획기적 절감
○ 사회 측면: 헬스케어 센서 네트워크를 통한 건강한 삶 구현을 통해 사회적 비용 감소

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 4
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 5
• 2. 연구개발과제의 수행 과정, 수행 내용 및 수행 결과 ... 6
• 3. 연구개발과제의 연구개발성과 및 목표 달성 정도 ... 11
• 1) 연구개발성과 ... 11
• 2) 목표 달성 수준 ... 23
• 4. 목표 미달 시 원인분석 ... 25
• 1) 목표 미달 원인(사유) 자체분석 내용 ... 25
• 2) 자체 보완활동 ... 25
• 3) 연구개발 과정의 성실성 ... 25
• 5. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 25
• 6. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 26
• 끝페이지 ... 27