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NTIS 바로가기주관연구기관 | 부경대학교 Pukyong National University |
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연구책임자 | 윤정인 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-02 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202200014415 |
과제고유번호 | 1711143169 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-10-26 |
키워드 | 반도체 공정.냉각기.혼합냉매.줄-톰슨.초저온.Semiconductor Process.Chiller.Mixed Refrigerant.Joule-Thomson.Ultra-low Temperature. |
□ 연구개요
근래 반도체 산업의 호황과 함께 반도체 공정에서 발생하는 발열을 제거하기 위한 초저온 냉동기에 대한 수요도 증가하고 있다. 초저온 냉동기는 –60℃ 이하의 유체를 공급하여 저온의 챔버 환경을 구성함으로써 절삭열의 억제를 가능하게 한다. 기존의 연구는 가연성 냉매를 이용한 초저온 줄-톰슨 냉동기에 대한 연구가 주로 이루어졌으나 산업 현장에서의 적용을 위해 비가연성 냉매의 적용이 필수적인 상황이다. 따라서 본 연구에서는 반도체 공정 냉각을 목표로 하는 –70℃ ~ -100℃ 온도에서 비가연성 혼합냉매 줄-톰슨 냉동기에
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