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NTIS 바로가기주관연구기관 | 강원대학교 Kangwon National University |
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연구책임자 | 김시준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-03 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202200015140 |
과제고유번호 | 1711130606 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-11-15 |
키워드 | 강유전체.강유전체 메모리.저전압 구동.신뢰성.Hf0.5Zr0.5O2.Ferroelectricity.Ferroelectric random access memory.Low voltage operation.Reliability. |
연구개요
본 연구에서는 atomic layer deposition (ALD) 방법으로 증착된 Hf0.5Zr0.5O2 (HZO) 박막의 강유전체 특성 발현 메커니즘을 이해하고 이를 기반한 <5 nm 두께에서 저전압 구동 및 고신뢰성을 지닌 차세대 강유전체 메모리 소자를 구현하였음.
연구 목표대비 연구결과
(1차년도) 수소가 강유전체 HZO 박막의 특성에 미치는 영향에 대한 연구를 수행하였음. 구체적으로 HZO 박막 형성 과정에서 발생하는 잔여 수소량에
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