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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
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연구책임자 | 류제황 |
참여연구자 | 현진일 , 윤권하 , 조승룡 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-10 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202200017866 |
DB 구축일자 | 2022-12-05 |
키워드 | 전계방출.삼극관 에미터.엑스레이소스.멀티빔.갠트리리스.Field emission.Triode emitter.X-ray source.Multibeam.Gantryless. |
연구의 목적 및 내용
· 고출력용 고안정 전자방출원을 이용한 멀티빔(전자총 70개 내장) 엑스선원블록 개발
□ 멀티빔 엑스선원블록 개발
- 멀티빔 엑스선원 테스트 베드 개발
- 멀티빔 엑스레이소스블록 시작품 제작
- 최적화된 멀티빔 엑스레이소스블록 시제품 개발
- 싱글 전자방출모듈 양산화 기술 개발
- 멀티빔 엑스레이소스블록 양산화 기술 개발
□ 고출력용 고안정 전자방출원 개발
- 6" PECVD 성장법 전자방출원 개발
- 전/후처리를 통한 전자방출 특성 향상 기술 개발
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