초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
• 최종 목표
- 차세대 반도체/디스플레이의 원천기술 개발에 활용이 될 수 있는 신 분석기술을 개발하는 것
• 전체 내용
1. OLED 유기 박막 분석기술 개발
2. 실제 소자 분석할 수 있는 소자분석기술 개발

□ 연구개발성과
- 투과전자현미경 분석기술을 활용한 OLED 분석법 특허 출원

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
1) 출원된 “유기재료 분석기술”의 등록하고, 개발된 신분석기술을 삼성종합기술원에서 개발하고 있는 OLED 소자에 적용

□ 연구개발 목표 및 내용
• 최종 목표
- 차세대 반도체/디스플레이의 원천기술 개발에 활용이 될 수 있는 신 분석기술을 개발하는 것
• 전체 내용
1. OLED 유기 박막 분석기술 개발
2. 실제 소자 분석할 수 있는 소자분석기술 개발

□ 연구개발성과
- 투과전자현미경 분석기술을 활용한 OLED 분석법 특허 출원

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
1) 출원된 “유기재료 분석기술”의 등록하고, 개발된 신분석기술을 삼성종합기술원에서 개발하고 있는 OLED 소자에 적용
2) 분석기술의 활용도에 따라서는 기술이전에 노력을 기울임.
3) 완성도 높은 “리버스 엔지니어링의 분석 절차 / 분석기술”을 확보하여, 경쟁이 심화되고 있는 차세대 소자에 대한 결과를 국내 기업들에게제공함으로써, 국가 반도체 산업에 기여

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 1-1. 전자에너지 손실 분광분석법(EELS)을 활용한 유기 디스플레이 재료의 구조 이미징 방법 ... 4
• - 유기 디스플레이 재료 ... 4
• - 유기 디스플레이 재료의 비파괴 분석법 ... 6
• - 전자현미경을 활용한 유기 디스플레이의 파괴 분석법; EELS 분석 ... 7
• - 전자현미경을 활용한 EELS 분석법 ... 9
• 1-2. 반도체 소자 분석 기술 확보 ... 9
• - 최신 반도체 분석기반의 종합 분석 서비스 ... 9
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 11
• 2-1. 전자에너지손실분광분석법(EELS)을 활용한 유기 디스플레이 재료의 구조 이미징 방법 기술 개발 ... 11
• 2-1-1. 기술 개발 개요 ... 11
• 2-1-2. 기술 개발 수행 내용 ... 13
• 2-2. 반도체 소자 분석기술 개발 ... 19
• 2-2-1. 3차원 비파괴 구조 분석 ... 19
• 2-2-2. FIB/TEM 분석 (BEOL) ... 21
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 24
• 1) 연구수행 결과 ... 24
• 3-1. 다층 박막 유기 재료의 신분석기술 (전자에너지 손실 분광분석법) ... 24
• 3-2. 다양한 조건에서 비파괴 3차원 구조 분석 결과 ... 27
• 2) 목표 달성 수준 ... 31
• 4. 목표 미달 시 원인분석 ... 32
• 5. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 32
• 6. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 33
• 7. 차년도 계획 ... 34
• 끝페이지 ... 35