초록 ▼

□ 연구개요
본 연구의 최종 목표는 반도체의 8대 공정 중, 반도체 DRAM 생산의 Layer 4 단에 존재하는 Clean (Wet Station) 공정, Implantation (IMP) 공정 각각의 특성을 고려한 스케줄링 문제를 우선 연구하고, 뒤이어 두 구간(Clean-IMP)을 연결하는 2단계 구간의 생산 스케줄링 최적화를 목표로 한다.

□ 연구 목표대비 연구결과
본 연구의 목표는 크게 3단계로 구성되어 있으며, 각 단계의 목표 및 수행 내용은 아래와 같이 요약되어 있음
(1) Phase 1: C

□ 연구개요
본 연구의 최종 목표는 반도체의 8대 공정 중, 반도체 DRAM 생산의 Layer 4 단에 존재하는 Clean (Wet Station) 공정, Implantation (IMP) 공정 각각의 특성을 고려한 스케줄링 문제를 우선 연구하고, 뒤이어 두 구간(Clean-IMP)을 연결하는 2단계 구간의 생산 스케줄링 최적화를 목표로 한다.

□ 연구 목표대비 연구결과
본 연구의 목표는 크게 3단계로 구성되어 있으며, 각 단계의 목표 및 수행 내용은 아래와 같이 요약되어 있음
(1) Phase 1: Clean (Wet Station) 공정의 제품 진행 순서 최적화 모델 개발 - 반도체 Clean 설비의 특성 분석 및 시뮬레이터 개발
(연구결과) 본 문제는 수집 가능한 데이터를 정의하고 그 데이터를 생성할 수 있는 시뮬레이터를 개발하였으며, 다중회귀분석, DNN, CNN 등의 기계학습 방법론을 이용하여 데이터를 활용하고 이를 다양한 비교/평가를 통해 적절한 알고리즘을 제시하였음
(2) Phase 2: IMP 공정의 제품-설비 Arrange/Scheduling 모델 개발 - IMPLANTATION 공정 특성 분석
(연구결과) 본 연구의 문제를 분석하고 모델링을 수립하였음. 해당 방법론을 Phase 1에서 개발한 방법론을 기반으로 모델링 분석을 완료하였음
(3) Phase 3: 두 구간을 연속적으로 고려하는 2 Stage (Clean-IMP) 공정 구간 운영 최적화 - Clean 및 IMP 시뮬레이터 통합
- 두 단계 공정의 일반적인 스케줄링 문제를 모델링하고 Clean-IMP 구간의 문제를 스케줄링 문제로 단순화하여 알고리즘을 개발하였음

□ 연구개발성과의 활용 계획 및 기대효과 (연구개발결과의 중요성)
□ (비용 절감) 고가 장비의 효율적 활용을 통한 생산 라인 Capacity 극대화
- 개당 수 십 억원 이상의 투자가 필요한 반도체 설비들을 효율적으로 활용하여 생산성을 증가시켜, 투자 및 운영 비용 절감
- Processing Time 감소로 인한 제품 생산량 증가로 제품 당 단가를 감소
□ (납기 단축) 최적화 알고리즘 적용을 통해 제품 변경 대응 기간 감소
- 기존에 사람이 관리하던 제품 변경 대응을 최적화 알고리즘 적용으로 대처하면서 사람이 분석/개 선하던 것을 시스템으로 대체
- 단일 공정뿐만 아니라 구간 스케줄러 개발을 통해 구간 내 Processing Time 감소로 인한 제품 생산 납기 단축
□ (산업경쟁력확보) 복잡한 반도체 공정의 스마트 팩토리 구축으로 국가 경쟁력 확보
- 제품의 주기가 짧고 신기술이 계속하여 투입되는 반도체 공정의 무인화 및 지능화를 통해 스케줄링 측면의 스마트 팩토리 구축에 기여함
- 반도체 생산 라인의 스마트 팩토리를 통해, 최근 경쟁이 심화되고 있는 반도체 시장의 제조 시스 템을 선도하여 시장 선점을 기대함
□ (타 산업 확산) 반도체 공정 스케줄러 구축 기술을 바탕으로 한 타 산업 상향 평준화
- 데이터의 차원이 높은 반도체 공정에서의 여러 가지 상황을 고려한 스케줄러 구축을 통해 스케줄링 기술 확보

(출처 : 연구결과 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구결과 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 1) 연구 목표 ... 4
• 2) 연차별 연구 내용 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 5
• 1) Wet – Station 설비의 CNN 기반 알고리즘 개발 ... 5
• 2) IMP 공정 스케줄링 방법론 연구 ... 7
• 3) 두 단계 Flow shop에서의 생산 공정 최적화 알고리즘 개발 ... 8
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 ... 10
• 1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) ... 10
• 2) 세부 정량적 연구개발성과 ... 11
• 3) 목표 달성 수준 ... 11
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) ... 11
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 12
• 6. 참고문헌 ... 13
• [붙임1] 세부 정량적 연구개발성과 ... 15
• [붙임2] 연구책임자 대표적 연구실적 및 증빙(요약문 및 사본) ... 16
• 끝페이지 ... 28