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NTIS 바로가기주관연구기관 | 동국대학교 DongGuk University |
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연구책임자 | 김지훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-10 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202300012784 |
과제고유번호 | 1345300923 |
사업명 | 이공학학술연구기반구축(R&D) |
DB 구축일자 | 2023-10-25 |
키워드 | 광자상향변환.광학리소그래피.나노결정.박막.광변환.Photo-upconversion.Photolithography.Nanocrystal.Thin film.Energy conversion. |
□ 연구개발 목표 및 내용
■ 최종 목표
본 연구는 적외선 파장의 빛을 받아 자외선으로 변환하는 광자상향변환 나노입자(Photo-upconversion nanoparticle)와 나노입자와 결합해 우수한 강도와 투명성을 가지는 폴리실라잔(Polysilazane) 박막을 이용해 기존의 메탈마스크를 이용하는 기존의 포토리소그래피를 보다 높은 분해능을 가지는 반도체공정기술을 개발하는 것을 최종 목표로 한다.
■ 전체 내용
본 연구의 목적은 적외선을 자외선이나 가시광선으로 변환할 수 있는 광특성을 지닌 고품질의 광자상
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