최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
---|---|
연구책임자 | 양찬우 |
참여연구자 | 송영식 , 황세훈 , 박성주 , 왕원철 , 신상원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2023-11 |
과제시작연도 | 2023 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
연구관리전문기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202400000696 |
과제고유번호 | 1711200310 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2024-06-26 |
키워드 | 산화물반도체.스퍼터.플라즈마.모니터링.발광분광분석기.Oxide semiconductors.Sputter.Plasma.Monitoring.Optical emission spectroscopy. |
□ 연구내용
○ IGZO 산화물 반도체 스퍼터 플라즈마 OES 센서 수광부 증착회피 모니터링 기술의 OLED 디스플레이 패널 제조공정 적용 가능성 검증 및 기술 최적화(에이치앤이루자 6세대 스퍼터 데모장비 활용)
- OES 강도비 측정가능 스퍼터링 전력시간 1378 kWh 이상 확보
- 스퍼터링 전력시간 1378 kWh에서 Ar 강도 측정값 유지율 89.31%
- 장시간 공정 모니터링 가능 환산 IGZO 300Å 기준 4601매 달성
○ IGZO 산화물 반도체 막질과 OES 공정 데이터 연계 기술개발 및
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.