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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 이명재 |
참여연구자 | 윤희선 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2023-12 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
연구관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202400005665 |
DB 구축일자 | 2024-09-02 |
키워드 | 라이다.단파장적외선.단일광자 아발란치 다이오드.후면조사 CMOS.2D 나노소재.대면적/고균일 합성.집적회로.라이다 센서.Light Detection and Ranging (LiDAR).Short Wave Infrared (SWIR).Single-Photon Avalanche Diode (SPAD).BSI CMOS.2D Nanomaterial.Large-Scale/ Homogeneous Synthesis.Integrated Circuit.LiDAR Sensor. |
□ 연구개발 목표
SWIR LiDAR를 위한 2D 삼원계 층상소재가 적용된 BSI SPAD 센서 Array 개발
● 표준 BSI CMOS 공정 기반 최적의 SPAD 및 SPAD Array 개발
● 대면적/고균일 2D 삼원계 반도체 소재 저온 합성법 및 SWIR 맞춤형 원자조합 솔루션 개발
● SPAD 픽셀 어레이에 대응하는 CMOS LiDAR 센서 ROIC 개발
● 2D 나노소재가 집적화된 BSI CMOS SPAD Array 구현 및 검증
□ 연구개발 내용
▶ 2D 나노소재와의 융복합에
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