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10억분의 1 수준의 정밀도를 요구하는 나노기술에 대한 관심은 신소재, 생명공학 분야에 이어 반도체 산업에서의 전자소자 및 광소자에서도 발전을 가속화시키고 있다.
반도체 산업에서의 나노기술은 나노입자, 나노선/박막의 어레이(array) 및 이들 물질의 결합에 의한 나노 수준의 전자소자 및 광소자의 제조에 다양한 가능성을 열어줄 기술 중의 하나이다.
특히, 나노입자와 나노선을 접합한 이종차원 하이브리드 나노재료는 나노입자의 정보 저장ㆍ생성의 장점과 나노선의 정보 전송의 장점을 접목시킨 재료이다.
나노기술을 기반으로 하는 전자소자 및 광소자를 살펴보면,
- 나노입자가 나노선 주위에 균일하게 접합된 메모리는 평면구조의 메모리 소자에 비해 대용량의 전하가 나노입자에 쉽게 저장되며 나노선을 통해 빠르게 전송되는 장점이 있고,
- 다량의 자유전하 생성 및 우수한 이동도로 고효율의 수광소자도 제작 가능하므로,
이들은 차세대 메모리, 고집적 배열소자, 광통신용 수광소자, 광 네트워크 시스템의 초고속 고집적 나노소자를 구현할 수 있다.
특허청(청장 고정식)에 따르면, 나노기술을 기반으로 한 전자 및 광소자 분야에 관한 특허출원은 1990년대 후반부터 급격하게 증가하였으며, 내국인에 의한 출원(560건, 79%)이 외국인에 의한 출원(145건, 21%)에 비하여 앞서고 있는 것으로 나타났다.
나노기술을 나노입자 및 나노선/박막 분야로 분류한 기술별 특허출원동향을 살펴보면, 나노입자 및 나노선/박막 분야의 출원은 해마다 꾸준하게 증가하다가 2004년 들어 매우 증가하였음을 알 수 있다.
나노기술을 기반으로 한 전자 및 광소자의 주요 출원인은 삼성전자 113건(나노입자 66건, 나노선/박막 47건), 한국전자통신연구원 56건(나노입자 35건, 나노선/박막 21건), 삼성 SDI 53건(나노입자 10건, 나노선/박막 43건) 순이며, 나노입자 분야의 다출원인은 전자소자에 대하여, 그리고 나노선/박막 분야의 다출원인은 광소자에 대하여 많은 특허출원이 있었다.
앞으로, 전자 및 광소자 분야에서 나노입자, 나노선/박막 및 이들을 기반으로 하는 이종차원 하이브리드 나노재료에 대한 지속적인 연구 및 특허출원이 이루어진다면 이들 반도체 산업분야에서 주도적 역할을 할 수 있을 것으로 기대된다.
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