$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

반도체 웨이퍼 성능 높일 측정기술 개발

2013-09-27

한국표준과학연구원은 신기능재료표준센터 김창수 박사팀이 반도체 웨이퍼(기판)의 성능을 향상시킬 수 있는 측정기술을 개발했다고 26일 밝혔다.
이번에 개발한 기술은 웨이퍼의 표면과 웨이퍼 내 규칙적으로 배열된 결정면이 이루는 각도인 면방위를 측정할 수 있는 기술이다.
웨이퍼를 기판으로 해 제작되는 반도체와 LED 및 전자소자는 면방위 크기에 따라 소자의 특성이 결정되기 때문에, 면방위 크기를 정확히 제어해야만 구조 결함을 최소한으로 줄일 수 있다.
현재 산업현장에서는 X-선을 이용한 미국재료시험협회(ASTM : American Society for Testing and Materials)의 면방위 측정 방법이 활용되고 있지만, 측정장치 회전축의 편심(물체의 중심이 한쪽으로 치우쳐 중심이 맞지 않는 상태) 현상 때문에 측정값에 오차가 생기는 단점이 있다.
김 박사 연구팀은 새로운 면방위 측정이론을 바탕으로 회전축 편심을 자체 보정함으로써 편심에 의한 오차를 원천 차단했다.
기존 측정방식보다 정확도가 10배 이상 높고 불량률도 현저히 낮출 수 있다고 연구팀은 전했다.
김 박사는 “앞으로 고품질 반도체 소재 및 소자를 생산하는 데 기여할 뿐만 아니라 면방위 측정에 대한 새로운 표준안으로 발전할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.
이번 연구 성과는 재료분야 세계적 학술지인 ‘저널 오브 어플라이드 크리스탈로그래피’(Jounal of applied Crystallography) 10월호에 실릴 예정이다.

관련 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로