최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기직접광학용 박막의 두께 및 굴절률의 정밀측정을 위해 Ellipsometer와 Prism Coupler를 제작하고 두 방법을 비교 분석하였다. 타원 편광 해석법에서는 두께 측정값이 주기 두께(cycle thickness: λ / 2ncosθ)를 주기로 반복되어 두께 측정의 범위가 주기 두께 이내로 제한되므로 입사각(θ)를 변화시켜 주기 두께가 달라지도록 함으로써 주기 두께 이상의 박막의 두께를 결정하는 방법을 사용하였으며, 굴절률 측정시 두께에 따른 오차를 분석하고 오차를 최소화하기 위하여 d_cyc/2 부근의 두께를 갖는 박막을 사용하였다. 프리즘 커플링 방법에서는 프리즘과 박막사이의 공기에 의하여 생기는 박막의 두께 및 굴절률 측정의 오차를 분석하여 정밀측정하였다. 타원 편광 해석법에 의한 굴절률 측정 ...
I prepared the Ellipsometer and Prism Coupler for accurate measurement of thickness and refractive index of thin film in optical integrated circuits and I compared and analyzed two methods. In Ellipsometry I used the method that over the cycle thickness was decided through the different cycle thickn...
저자 | 전은숙 |
---|---|
학위수여기관 | 全南大學校 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 물리학과 |
발행연도 | 1993 |
총페이지 | 37장 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T1667636&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.