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NTIS 바로가기The transparent and conducting SnO_2 thin film was deposited on slide glass by means of R. F. Magnetron Sputtering with self-made SnO_2 target. The morphology, crystalline, electrical and optical properties of SnO_2 thin film deposited in various conditions were investigated. The main results obtain...
저자 | 김현석 |
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학위수여기관 | 全北大學校 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 금속공학과 |
발행연도 | 1995 |
총페이지 | ii,48장 |
키워드 | MAGNETRON SPUTTERING법 SNO₂박막 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T2592992&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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