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[국내논문] R.F. Magnetron Sputtering법을 이용한 ITO 박막 오존 가스센서의 제조 및 특성
The Fabrication of ITO Thin-film O3 Gas Sensors Using R.F. Magnetron Sputtering Method and their Characterization 원문보기

한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.39 no.9 = no.244, 2002년, pp.840 - 845  

권정범 (서울시립대학교 신소재공학과) ,  정경근 (서울시립대학교 신소재공학과) ,  이동수 (이노스텍(주)) ,  하조웅 (이노스텍(주)) ,  유광수 (서울시립대학교 신소재공학과)

초록
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오존 가스센서는 저가이고 휴대 및 사용이 간편하며 감도가 높고 우수한 선택성을 지닌 반도체식 가스센서가 대안으로 부각되고 있다. 본 연구에서는 R.F. magnetron sputtering법을 이용하여 ITO($In_2O_3 95%,\;SnO_2$ 5%) 박막을 알루미나 기판위에 증착시켰다. 증착시 기판온도는 300$^{\circ}C$와 500$^{\circ}C$였고, 시편의 일부를 공기중 500$^{\circ}C$에서 4시간 동안 열처리하였다. ITO 가스 감지막은 열처리 전${\cdot}$후 모두 결정을 형성하였다. 오존 가스에 대한 감도측정 결과, 300$^{\circ}C$에서 증착한 다음 열처리한 센서에서 가장 높은 감도(1 ppm이하 감지 가능)를 나타내었다. 작동온도가 높을수록 감도는 줄어들었지만 빠른 응답 특성과 안정성을 가졌다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

As an ozone gas sensor, the semiconductor gas sensor which is cheap, portable and simple in use and has a high sensitivity and an excellent selectivity, has been known as an alternative. In the present study, ITO ($In_2O_3 95%,\;SnO_2$ 5%) thin films were deposited on the alumina substrat...

Keyword

#R   #F   #magnetron sputtering method   #ITO thin films   #Ozone gas sensors  

참고문헌 (10)

  1. K. S. Yoo, 'Fabrication and Characteristics of Thin Films for Ceramic Sensors,' Sci. and Tech. of Ceram. Mater., 1 [3] 293-301 (1992) 

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    상세보기 crossref

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