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NTIS 바로가기감광성 폴리이미드는 전기적 특성, 내열성 등이 우수하여 반도체 소자의 보호막이나 다충배선의 층간 절연막 등으로 사용되고 있다. 감광성 폴리이미드는 네거티브형과 포지티브형으로 분류되는데, 현재까지 포지티브형에 대해서는 낮은 광감도 등의 이유 때문에 연구가 거의 진행되고 있지 않다. 본 연구에서는 포지티브형 폴리이미드의 광감도 향상에 초점을 맞추어, 새로운 구조의 폴리이미드를 합성하고 감광성 폴리이미드로서의 응용 가능성을 조사하였다. ...
Novel positive-type photosensitive polyimides containing simultaneously N-sulfonyloxyimide (or N-carbonyloxyimide) groups and cyclobutane rings in the main chain were prepared by condensation polymerization. The polyimides have good film-forming properties and relatively good thermal stability. Phot...
저자 | 조성열 |
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학위수여기관 | 연세대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 화학과 |
발행연도 | 2001 |
총페이지 | vi, 49p. |
키워드 | 감광성 폴리이미드 축합중합 포토레지스트 Polyimide Photoresist |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T7936863&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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