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실리콘 웨이퍼 표면위에서 회전하는 액체방울이 지름방향으로 흐르는 과정을 연구하였다. 실험에 사용된 유체는 실리콘오일(점성 10cm2/s)이다. 실험데이타는 조명장치와 스핀코팅기 및 고속카메라를 사용하여 획득하였다. 회전이 진행되는 동안 모세관힘과 원심력의 경쟁이 가장자리에서 손가락문양을 만드는 것을 일으킨다. 무차원 반지름 변수 R/R0는 무차원 시간(t/T0)1/4 에 비례하여 증가하고 손가락문양은 ≫0.01의 경우에 역본드 수에 무관하게 일...

실리콘 웨이퍼 표면위에서 회전하는 액체방울이 지름방향으로 흐르는 과정을 연구하였다. 실험에 사용된 유체는 실리콘오일(점성 10cm2/s)이다. 실험데이타는 조명장치와 스핀코팅기 및 고속카메라를 사용하여 획득하였다. 회전이 진행되는 동안 모세관힘과 원심력의 경쟁이 가장자리에서 손가락문양을 만드는 것을 일으킨다. 무차원 반지름 변수 R/R0는 무차원 시간(t/T0)1/4 에 비례하여 증가하고 손가락문양은 ≫0.01의 경우에 역본드 수에 무관하게 일정한 수가 발생하는 것을 확인하였다.

Abstract ▼ AI-Helper

We have studied the process of liquid flowing on the surface of silicon wafer during the spreading of a spinning drop. The liquid used in the experiment is the silicon oil(viscosity 10cm2/s). The experimental data was acquired by using high speed camera, spin coater, and illumination apparatus. The ...

We have studied the process of liquid flowing on the surface of silicon wafer during the spreading of a spinning drop. The liquid used in the experiment is the silicon oil(viscosity 10cm2/s). The experimental data was acquired by using high speed camera, spin coater, and illumination apparatus. The competition of the capillary and centrifugal force is occurred making fingers at the rim. It is observed that the dimensionless radius R/R0 increases with (t/T0)1/4 and the number of fingers are constants independent of inverse bond number for ≫0.01.