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NTIS 바로가기한국액체미립화학회지 = Journal of ilass-korea, v.18 no.3, 2013년, pp.146 - 154
김태성 (삼성SDI 생산기술연구팀)
The flow of a liquid film on spin coating is investigated in the case that the fixed volume of a liquid is placed on the center of a stationary disk. Thin film equations that are well approximated when the characteristic length in the vertical direction is much smaller than that in the radial direct...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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스핀 코팅이란? | 스핀 코팅은 평평한 원판 위에 균일하고 얇은 막을 생성하는 가장 간단하고 많이 쓰이는 기술로 모니터 스크린이나 광학 기구의 코팅, 자기 기억 장치에서의 코팅, 반도체 산업에서의 photolithographic process에서의 코팅 등의 여러 가지 분야에서 응용된다(1,2). | |
초기 액막두께 가 매우 작은 경우 액막두께의 시간적, 공간적 변화를 기술하는 두께방정식을 박막두께 방정식을 사용하여 얻은 결과는? | 또 초기 액막두께 가 매우 작은 경우 액막두께의 시간적, 공간적 변화를 기술하는 두께방정식을 박막두께 방정식을 사용하여 유도하였다. 이 두께방정식도 초기 액막두께가 매우 작을 때 균일액막에 대한 NavierStokes 방정식의 해와 대단히 좋은 일치를 보이는 결과를 제공한다. | |
스핀 코팅은 어떤 분야에서 응용되는가? | 스핀 코팅은 평평한 원판 위에 균일하고 얇은 막을 생성하는 가장 간단하고 많이 쓰이는 기술로 모니터 스크린이나 광학 기구의 코팅, 자기 기억 장치에서의 코팅, 반도체 산업에서의 photolithographic process에서의 코팅 등의 여러 가지 분야에서 응용된다(1,2). |
B. D. Washo, "Rheology and modeling of the spin coating process", IBM J. Res. Dev., Vol. 21, 1977, pp. 190-198.
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