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NTIS 바로가기본 논문에서는 간단한 충돌 방사 모델(simple collisional- radiative model)을 이용한 새로운 광학적 분석 방법을 공정 플라즈마에 적용하여 전자온도 및 준안정 밀도(metastable densities)를 측정하였다. 얻어진 전자 온도 및 준안정 밀도의 경우 입력 파워가 100W에서 1kW, 압력은 2mTorr에서 50mTorr의 범위로 측정되어졌다. 실험에 사용된 간단한 충돌 방사 모델은 ...
The electron temperature (Te) and metastable densities (n1s3, n1s5) in inductively coupled plasma reactor in argon are investigated by new spectroscopic method at various powers (100~ 1000W) and pressures (2~ 50mTorr). The spectroscopic method is based on the simple collisonal-radiative model caused...
저자 | 이영광 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 전기공학과 |
발행연도 | 2008 |
총페이지 | 30 p. |
키워드 | 전기공학과 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11232792&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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