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NTIS 바로가기rf-마그네트론 스퍼터를 이용하여 Ga-ZnO(1wt%)/Al₂O₃ 위에 Ti/Au 와 ITO/Ti/Au를 성장시킨 후 결정성과 전기적 특성을 분석하였다. 이 시편을 질소 분위기에서 1분씩, 어닐링 온도 200℃~500℃ 열처리를 실시하였다. TEM, XRD, c-TLM 방법을 이용하여 금속 ...
Ti/Au and ITO/Ti/Au were grown on Ga-ZnO(1wt%)/Al₂O₃ by RF magnetron sputtering. and cristallity and electrical property of each films were analyzed. The samples were anealed at 200~500℃ for 1 min in N2 atmosphere by RTA. TEM, XRD and c-TLM were used for Electric and structural analysis. The changes...
저자 | 장나영 |
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학위수여기관 | 전남대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 광공학협동과정 |
지도교수 | 이병택 |
발행연도 | 2008 |
총페이지 | v, 42 p. |
키워드 | n-ZnO 오믹 접촉 Ti/Au ITO/Ti/Au |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11485620&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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