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저자 | 김춘환 |
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학위수여기관 | The Graduate School of Seoul National University |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 재료공학부 |
발행연도 | 2009 |
총페이지 | xviii, 153 p. |
키워드 | 저저항 텅스텐 화학기상텅스텐 pulsed CVD-W 원자층 증착 텅스텐 펄스방식의 텅스텐 다이보렌 B2H6 사일렌 접착력 접합누설전류 포화드레인 전류 비트라인 CVD-W Low Resistive CVD-W ALD-W SiH4 Adhesion Junction Leakage Current Saturation Drain Current Bit line |
언어 | eng |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11811316&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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