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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.2 no.2, 1992년, pp.110 - 118
김의송 (삼성전자) , 이종무 (인하대학교 금속공학과) , 이종길 (삼성전자)
When CVD-W films deposited on the reactively sputter-deposited TiN(
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