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NTIS 바로가기레티클 스테이지(Reticle stage)는 노광기 안에서 이미지 광학계와 조명계 사이에서 마스크(mask) 즉 레티클을 장착하는 장치로서 매우 정교하계 제어 되어야 광축과 반도체 패턴 마스크가 잘 정렬되어 우수한 ...
저자 | 김문수 |
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학위수여기관 | 서울산업대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 메카트로닉스공학과 |
발행연도 | 2009 |
총페이지 | 64 p. |
키워드 | 노광기 정밀 스테이지 정밀 위치제어 VCM |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11853488&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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