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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경북대학교 KyungPook National University |
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연구책임자 | 양승한 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-12 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700011528 |
과제고유번호 | 1711030042 |
사업명 | 중견연구자지원 |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 초정밀 가공.미세 구동 스테이지.기하학적 오차.열변형 오차.동적 오차.실시간 측정.실시간 보정.이중 서보.성능 평가.Ultra-precision machining.Fine stage.Geometric error.Thermal-induced error.Dynamic error.Real-time measurement.Real-time compensation.Dual servo.Performance evaluation. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700011528 |
□ 연구의 목적 및 내용
외란에 강인하고 높은 정확도의 초정밀 가공을 위하여 기하학적 오차, 열 변형 오차 및 동적 오차의 실시간 측정 및 보정 기능의 6자유도 미세 구동 스테이지를 개발하고, 이중서보 및 테스트 베드 구축을 통한 초정밀 기초 가공 적용
□ 연구결과
1. 5자유도 오차의 실시간 측정시스템 설계 및 제작
- 민감도 해석을 이용한 측정 불확도 최소화하는 측정 센서의 위치 설계
- 기하학적 해석을 통한 5자유도 오차 추정 알고리듬 개발
- 초정밀 장행정 구동 스테이지의 5자유도 오차
□ Purpose&contents
Development of 6-DOF fine stage with real-time measurement and compensation of geometric errors, thermal induced errors, dynamic errors and ultra-precision machining with construction of test-bed for machining performance
□ Result
1. Design and fabrication of a real-t
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